ГОСТ Р 8.629-2007: Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки

Терминология ГОСТ Р 8.629-2007: Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки оригинал документа:

3.14 Z-сканер сканирующего зондового атомно-силового микроскопа (Z-сканер): Устройство сканирующего зондового атомно-силового микроскопа, позволяющее в процессе сканирования удерживать зонд в вертикальном положении и обеспечивающее постоянное расстояние между острием зонда и поверхностью исследуемого объекта.

(Измененная редакция, title="Изменение № 1, ИУС 2-201").

Определения термина из разных документов: Z-сканер сканирующего зондового атомно-силового микроскопа (Z-сканер)

3.12 видеопрофиль (информативного сигнала): Графическая зависимость значения информативного сигнала, поступающего с детектора микроскопа, от номера пикселя в данной строке видеоизображения

Определения термина из разных документов: видеопрофиль (информативного сигнала)

3.4 геометрическая форма элемента рельефа: Геометрическая фигура, наиболее адекватно аппроксимирующая форму минимального по площади сечения элемента рельефа.

Пример - Трапецеидальный выступ, представляющий собой элемент рельефа поверхности, геометрическая форма минимального по площади сечения которого наиболее адекватно аппроксимируется трапецией.

Определения термина из разных документов: геометрическая форма элемента рельефа

3.11 изображение на экране монитора микроскопа (видеоизображение): Изображение на экране монитора микроскопа в виде матрицы из п строк по т пикселей в каждой, яркость которых прямо пропорциональна значению сигнала соответствующей точки матрицы.

Примечание - Яркость пикселя определяется силой света, излучаемой им в направлении глаза наблюдателя.

Определения термина из разных документов: изображение на экране монитора микроскопа (видеоизображение)

3.13 масштабный коэффициент (видеоизображения микроскопа): Отношение длины исследуемого элемента на объекте измерений к числу пикселей этого элемента на видеоизображении.

Примечание - Масштабный коэффициент определяют для каждого микроскопа.

Определения термина из разных документов: масштабный коэффициент (видеоизображения микроскопа)

3.5 мера физической величины (мера величины): Средство измерений, предназначенное для воспроизведения и (или) хранения физической величины одного или нескольких заданных размеров, значения которых выражены в узаконенных единицах и известны с необходимой точность [1].

Определения термина из разных документов: мера физической величины (мера величины)

3.9 пиксель: Наименьший дискретный элемент изображения, получаемый в результате математической обработки информативного сигнала.

Определения термина из разных документов: пиксель

3.1 рельеф поверхности (твердого тела): Поверхность твердого тела, отклонения которой от идеальной плоскости обусловлены естественными причинами или специальной обработкой.

Определения термина из разных документов: рельеф поверхности (твердого тела)

3.6 рельефная мера: Средство измерений длины, представляющее собой твердый объект, линейные размеры элементов рельефа которого установлены с необходимой точностью.

Примечание - Рельефная мера может быть изготовлена с помощью средств микро- и нанотехнологии или представлять собой специально обработанный объект естественного происхождения.

Определения термина из разных документов: рельефная мера

3.8 рельефная мера (нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов): Рельефная мера нанометрового диапазона, геометрическая форма элементов рельефа которой представляет собой трапецию.

Определения термина из разных документов: рельефная мера (нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов)

3.7 рельефная мера нанометрового диапазона: Мера, содержащая элементы рельефа, линейный размер хотя бы одного из которых менее 10^-6 м.

Определения термина из разных документов: рельефная мера нанометрового диапазона

3.10 сканирование (элемента исследуемого объекта): Перемещение зонда вдоль выбранного отрезка на исследуемом объекте с одновременной регистрацией информативного сигнала.

Определения термина из разных документов: сканирование (элемента исследуемого объекта)

3.2 элемент рельефа (поверхности): Пространственно локализованная часть рельефа поверхности.

Определения термина из разных документов: элемент рельефа (поверхности)

3.3 элемент рельефа в форме выступа (выступ): Элемент рельефа, расположенный выше прилегающих к нему областей.

Определения термина из разных документов: элемент рельефа в форме выступа (выступ)